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真空電極（Feedthrough）法蘭連接通常包括以下步驟：

準(zhǔn)備工作：準(zhǔn)備好法蘭、密封墊、螺栓、螺母等零件，清潔電極和法蘭上的雜物和污垢，確保表面光潔無劃痕。

安裝密封墊：在電極上放置一個合適大小的密封墊，確保其完全覆蓋法蘭連接面。一般采用O形圈或者金屬層疊墊。

安裝法蘭：將法蘭輕輕放置在電極上，并將螺栓穿過法蘭孔洞，螺母輕輕擰上。

調(diào)整法蘭位置：調(diào)整法蘭的位置，使其與電極上的法蘭孔洞對齊。

逐步擰緊螺栓：從一個螺栓開始，逐步擰緊螺栓和螺母，直到所有螺栓都已緊固。在擰緊螺栓和螺母時，需要根據(jù)法蘭材料和密封墊的硬度適當(dāng)調(diào)整擰緊力度，以確保法蘭與電極之間的密封性能。

泄漏測試：在安裝完成后，需要進(jìn)行泄漏測試來驗(yàn)證法蘭與電極之間的密封性能。通常采用質(zhì)譜儀或氦檢漏儀來檢測泄漏。如果發(fā)現(xiàn)泄漏，需要重新檢查并調(diào)整法蘭連接。

高密度型Sub-D真空饋通

需要注意的是，法蘭連接的質(zhì)量和密封性能對整個真空系統(tǒng)的性能和可靠性都有重要影響。因此，在安裝和使用真空電極時，需要嚴(yán)格遵守操作規(guī)程和要求，并進(jìn)行定期的維護(hù)和檢查。

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